高精度电涡流传感器SMT-9700
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详细信息

高精度电涡流传感器SMT是一款专门为客户定制的OEM产品，可测非导磁体和铁磁材料，有1、

2或3通道可配电涡流探头。拥有埃米级分辨率，符合CE和RoHS标准，尺

寸小巧，并可配13种电涡流探头。同时材料、线性、分辨率、带宽各种

性能可自行优化。

目标

  1 能够精确地调整和保持半导体晶片在进行物理气相沉淀（PVD）室中整齐排列。

   2 避免在进入沉淀室时，由于排列不整齐而造成晶片损坏。

   3 确保沉淀物统一地沉淀在晶片上。

高精度电涡流传感器解决方案

在物理气相沉淀系统中，晶片会被放入不同的沉淀室里，每一个沉淀室用来沉淀不同的物质。传感器被安装在沉淀室的内侧（如图所示）。每个传感器测量载有晶片的传送器在沉淀室中的位置。Kaman系统提供了模拟和数字两种输出信号，以防止超出系统可承受的范围。

结果：提高了时间和精度。

高精度电涡流传感器特点

  1 类型：SMT-9700高精度电涡流传感器

    2 非接触性：应用涡电流的技术，每一个传感器均可以无接触地测量到目标体的位置。

    3 高分辨率：系统可识别

    4 重复性：  Kaman传感器可以提供高精度的性能，可以反复用于物理气相沉淀。

   5 系统多功能性：测量系统可以广泛用于测量的各个领域。

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http://www.51sensors.com/prod_detail_786.html

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