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电涡流位移传感器磁场同步跟随式电磁悬浮微驱动器的微
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应用背景:

在超精密加工、微机电系统、生物工程等领域,迫切需要高精度的微运动系统,其核心部件微驱动器是当前研究的热点。在微运动具体实施过程中,对微运动系统驱动器要求的主要参数有:运动范围和运动精度、运动自由度、运动响应。基于磁场同步跟随的新型电磁悬浮式微驱动器,解决了悬浮驱动力与横向力相互耦合的问题,可实现高精度微运动。

在微驱动器的设计制造阶段,对运动精度标定和验证是一个必要的环节。


解决方案:

KD-2306电涡流位移传感器,采用非接触式测量,分辨率可以达到0.1μm



电涡流位移传感器主要特点

高分辨率和高采样率;

可自行调整零位、增益和线性;

可选择延长电缆、温度补偿等功能;

可测铁磁和非铁磁所有金属材料;

具有多传感器同步功能;

不受潮湿、灰尘的影响,对环境要求低;

KD2306 电涡流位移传感器在电磁阀衔铁的位移方面的应用,可用于旋转机器轴向位移和胀差检测。电涡流位移传感器KD2306KD2300的更新产品,采用轨导DIN式结构。电磁阀衔铁的位移测量体系非常适合集成到OEM设备和工业控制应用中,还可选择延长电缆、温度补偿等特殊需求。

KD2306 电涡流位移传感器是真尚有科技代理的美国KAMAN高性能电涡流位移传感器,适用于电磁阀衔铁的位移的测量,具备卓越的分辨率和速度性能0.1um分辨率,50kHz高响应),满足各种实际需求。


详情请访问:

http://www.51sensors.com/prod_detail_782.html

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电涡流位移传感器

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